与振动相关的物理量有位移、速度、加速度等，因此测振就是对这些振动量的检测。加速度、速度、位移之间是积分微分关系，实际测振系统只需对其中的一个物理量进行测量，即可通过这种关系得出其他两个物理量。目前在测振行业中用的较多的是加速度传感器。常见的加速度计有压电式加速度计、集成电路式压电加速度计、变电容式加速度计和压阻式加速度计。

　　本文选用MMA3201KEG加速度计，这是一种基于微机电系统(MEMS)的芯片化电容式两轴加速度传感器。由于电容极板之间的惯性，当有加速度存在时，极板间距的变化会导致电容参数C的变化，通过这一原理使两个轴上的加速度转变为电压信号输出。该芯片具有如下特点 ：

　　⑴ 表面安装。适合安装于印刷电路板上;

　　⑵ 电源电压范围是4.75 V~5.25 V;

　　⑶ 测量范围是-40 g~+40 g，0 g对应的输出电压为2.5 V;

　　⑷ 工作温度范围为-40℃ ~ +125℃;

　　⑸ 具有自检和自校准功能;

　　⑹ CMOS信号调理器;

　　⑺ 4阶贝塞尔滤波器脉冲形状完整保留;

　　⑻ 低电压检测、时钟监视器和EPROM奇偶校验状态。

　　加速度传感器的物理模型与等效电路。加速度传感器采用硅半导体材料制成的电容传感器，有3个极板，上下两个极板是固定的，分别接A、B端;中心极板是可动的，接O端,这样就构成了两只背靠背电容。

　　众所周知，电容的计算公式为：

　　其中，ε0是真空介电常数，εr是电容极板之间的相对介电常数，A是极板重叠面积，d是两极板之间的距离。当受到振动或者冲击时，中心极板就会发生移位，由式(1)可知，CAO和CBO的电容量C1、C2随极板之间距离的变化而改变。当受到向上的加速度时，中心极板在惯性力的作用下产生了一定的位移，使得CAO和CBO的电容量发生变化，从中可获取加速度信号。该信号经过积分器和放大器，送至贝塞尔滤波器。贝塞尔滤波器能提供一个平坦的延时响应，可保证脉冲波形的完整性。

　　由MMA3201KEG构成的加速度传感器来测量潜油电泵的振动应用电路。其中C3为电源去耦电容;引脚端6输出X轴加速度电压，由R1和C1构成低通滤波器滤波后输出;引脚端11输出Y轴加速度电压，由R2和C2构成低通滤波器滤波后输出;引脚端5连接到***电平时，在上升沿时刻可使芯片初始化(复位);引脚7检测到故障时，输出***电平信号。